Comparatif

Légende:

  • +++ bonne performance/adapté
  • + performance limitée/des possibilités existent
  • 0 inadapté
 Limite de détectionComposition d'un alliage Information moléculaire Information de profondeur
SIMS dynamique ++++0+++
XPS/ESCA ++++++
ToF-SIMS +++0++++
RBS0+0+
ECVP +++00+++
FIB-TEM Imagerie en coupe verticale de circuits intégrés ou d'autres structures.