Chiffres et ordres de grandeur

Chiffres et ordres de grandeur des différentes techniques d’analyse

SIMS dynamique

Limite de détection

1ppm-1ppb

Gamme de masses usuelle

1uma-300uma

Profondeur d'un profil

10nm-100µm

Résolution en profondeur

1nm-20nm

Surface analysée (diamètre)

20µm-500µm

XPS/ECSA

Limite de détection

0,1 at %

Eléments détectés

Tous sauf H et He

Profondeur sondée (sans abrasion)

10nm

Surface analysée minimale (diamètre)

10µm

ToF-SIMS

Limite de détection

1ppm

Gamme de masses

1uma-10000uma

Profondeur sondée (sans abrasion)

1nm

Résolution spatiale en imagerie

0,1µm

RBS

Limite de détection

1 at %

Gamme de masses

M>10uma

Epaisseur sondée

3nm-3µm

ECVP

Limite de détection

1ppm-1ppb

Profondeur d'un profil

10nm-10µm

Surface analysée (diamètre)

1mm-3mm

FIB-TEM

Résolution spatiale en imagerie
0,1nm