Comparatif
Légende:
- +++ bonne performance/adapté
- + performance limitée/des possibilités existent
- 0 inadapté
| Limite de détection | Composition d'un alliage | Information moléculaire | Information de profondeur |
|
|---|---|---|---|---|
| SIMS dynamique | +++ | + | 0 | +++ |
| XPS/ESCA | + | +++ | + | + |
| ToF-SIMS | +++ | 0 | +++ | + |
| RBS | 0 | + | 0 | + |
| ECVP | +++ | 0 | 0 | +++ |
| FIB-TEM | Imagerie en coupe verticale de circuits intégrés ou d'autres structures. | |||
