Chiffres et ordres de grandeur
Chiffres et ordres de grandeur des différentes techniques d’analyse
SIMS dynamique
Limite de détection
1ppm-1ppb
Gamme de masses usuelle
1uma-300uma
Profondeur d'un profil
10nm-100µm
Résolution en profondeur
1nm-20nm
Surface analysée (diamètre)
20µm-500µm
XPS/ECSA
Limite de détection
0,1 at %
Eléments détectés
Tous sauf H et He
Profondeur sondée (sans abrasion)
10nm
Surface analysée minimale (diamètre)
10µm
ToF-SIMS
Limite de détection
1ppm
Gamme de masses
1uma-10000uma
Profondeur sondée (sans abrasion)
1nm
Résolution spatiale en imagerie
0,1µm
RBS
Limite de détection
1 at %
Gamme de masses
M>10uma
Epaisseur sondée
3nm-3µm
ECVP
Limite de détection
1ppm-1ppb
Profondeur d'un profil
10nm-10µm
Surface analysée (diamètre)
1mm-3mm
