Informations pratiques

Probion Analysis est certifiée ISO 9001.

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Nous étudions tout type d’échantillon solide semiconducteur, métallique ou isolant. Pour obtenir des conditions d’analyse optimales, un échantillon doit avoir préférentiellement:

• Une surface plane,
• Une largeur >5mm (idéalement 6 à 8mm pour une analyse par SIMS),
• Une faible rugosité (idéalement un polissage de qualité optique).

Toutefois, nous pouvons développer des procédés spécifiques qui nous permettent d’analyser une large gamme d’échantillons: pièces métalliques rugueuses, échantillons de taille <1mm (puces LED de 200µm) …

Sauf demande contraire, nous découpons tout échantillon aux dimensions optimales pour les analyses (typiquement 6-8mm). La longueur maximale pour des analyses par SIMS est de 24mm.

Une analyse peut être réalisée sur un emplacement spécifique à la surface d’un échantillon comportant des motifs (largeur typique 50 à 300µm). Dans ce cas, il peut être nécessaire que nous disposions de plusieurs emplacements pour effectuer l’analyse, notamment si plusieurs conditions d’analyses différentes doivent être utilisées.

• Silicium et alliages: Si, SiGe, SiC …
• Isolants: SiO₂, Si₃N₄, SiOP …
• Métaux: Cuivre, or, nickel, titane, palladium, tungstène …
• III-V: GaAs, AlGaAs, InP, GaInAs, AlInAs, GaInP …
• Nitrures: GaN, InGaN, AlGaN …
• II-VI: CdTe, HgCdTe, ZnS, ZnO …
• Diamant, verres …
• …

• SIMS dynamique (Secondary Ion Mass Spectrometry)
• ECVP (Electrochemical Capacitance Voltage Profiling)
• XPS ou ESCA (X-ray Photo-electron Spectrometry, Electron Spectrometry for Chemical Analysis)
• ToF-SIMS (Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)
• RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry)
• FIB et TEM (Focused Ion Beam, Transmission Electron Microscopy)

La liste qui suit est non exhaustive:

• Profil de couches minces (épaisseur 1nm à 100µm)
• Profil de diffusion et d’interdiffusion
• Mesure de dopage dans les semiconducteurs
• Activation électrique de dopage
• Mesure d’épaisseurs
• Contamination de substrats (<1ppm)
• Contamination de couches
• Contamination d’interfaces
• Contamination d’extrême surface
• Composition d’alliages
• Abondances isotopiques
• Imagerie ionique (largeur 500µm, résolution 2µm)
• Spectre de masse
• …

Nous traitons les données d’analyse brutes et fournissons l’ensemble des graphiques et données numériques utiles, ainsi qu’un rapport d’analyse détaillé.

Le délai standard pour la fourniture des résultats d’analyse est de 5 jours ouvrables à compter de la réception des échantillons. En cas d’urgence, ce délai peut être ramené à 24 heures sur demande.

Après livraison des résultats, nous restons à votre disposition pour répondre à toute question. Les échantillons sont retournés sur demande uniquement, le service est facturé. Si le retour des échantillons n’est pas demandé, les échantillons sont conservés pendant au moins un mois puis ils peuvent être détruits sans préavis.

Nous garantissons une totale confidentialité des résultats et des informations que vous nous confiez, si nécessaire sous forme contractuelle (NDA).